產(chǎn)品特點

1、微波法氣相石墨烯生長爐采用氣相法制備石墨烯材料方式，采用微波熱等離子體技術(shù)，適合石墨烯原料制備工藝研究和小批量生產(chǎn)。
2、本產(chǎn)品等離子生長腔體采用潔凈石英管結(jié)構(gòu)，避免生產(chǎn)過程中的雜質(zhì)污染，確保產(chǎn)品品質(zhì)。
3、本產(chǎn)品設(shè)計連續(xù)氣相生長功能，采用頂部4路進氣混氣，底部排料的結(jié)構(gòu)。
4、本產(chǎn)品采用真空和微正壓系統(tǒng)設(shè)計，反應(yīng)室與外界密封設(shè)計，適合微波等離子體狀態(tài)。
5、本產(chǎn)品設(shè)置真空管路和防爆泄壓結(jié)構(gòu)，支持真空、氣氛和微正壓環(huán)境。
6、本產(chǎn)品采用微波等離子體技術(shù) ，功率智能調(diào)節(jié)，工藝性更穩(wěn)定。
7、微波法氣相石墨烯生長爐采用PLC程序控制，觸摸屏操作，工藝路線可實現(xiàn)自動化控制，工藝數(shù)據(jù)可讀取。

技術(shù)參數(shù)